1. 规划与设计

需求分析：

• 确定洁净室的用途、所需的洁净度等级（例如ISO 5级、ISO 7级等）。
• 评估人员、设备和工艺对环境的要求。

设计规范：

• 空间布局：确定洁净室的面积、布局和流程，包括人员流动、物料流动和设备配置。
• 空气流动：设计空气流动模式（如层流或混合流），确保空气流动可以有效带走颗粒物。
• 温湿度控制：确定所需的温湿度范围，并设计相应的控制系统。
• 材料选择：选择适用于洁净环境的建筑材料，如光滑、无孔的表面材料，易于清洁和消毒的地板和墙壁材料。

2. 建筑施工

建筑结构：

• 隔离墙：建造光滑、无缝的墙壁和天花板，避免颗粒物积累。
• 地板：选择易于清洁的材料，如环氧树脂地板，确保地面无缝且防静电。
• 门窗：使用密封良好的门窗，防止外部污染物进入洁净室。

空气处理系统：

• 空气过滤系统：安装高效的空气过滤器，如HEPA或ULPA过滤器，确保空气中的微小颗粒被有效去除。
• 空气流动系统：安装适当的空气流动系统，包括送风和排风系统，以维持所需的空气流动模式。

温湿度控制系统：

• HVAC系统：安装加热、通风和空调系统（HVAC），以精确控制洁净室的温度和湿度。
• 湿度控制：使用加湿器和除湿机来维持稳定的湿度水平。

3. 设备安装

洁净设备：

• 洁净工作台：安装适用于洁净环境的工作台和设备，确保表面光滑、易于清洁。
• 无尘工具：使用无尘或低污染的工具和设备，以防止引入额外的污染物。

监测系统：

• 环境监测：安装监测系统，以实时监测空气中的颗粒物、温湿度和其他关键参数。
• 报警系统：设置报警系统，以便在环境条件超出设定范围时进行警告。

4. 试运行与验证

洁净度验证：

• 空气质量检测：使用颗粒计数器等设备进行空气质量检测，验证洁净室是否达到设计的洁净度等级。
• 环境测试：检测温度、湿度、气流速度等，确保所有环境参数符合要求。

系统调试：

• 设备运行测试：对所有设备进行运行测试，确保其正常工作并符合设计规范。
• 操作人员培训：培训操作人员正确使用洁净室设备，并遵循洁净室操作规范。

5. 维护与管理

日常维护：

• 清洁程序：制定并执行定期的清洁和消毒程序，以保持洁净室的环境。
• 设备维护：定期检查和维护空气过滤器、HVAC系统和其他关键设备，确保其正常运行。

环境监测：

• 定期检查：进行定期的环境监测，以确保洁净室的洁净度和其他环境参数始终符合标准。
• 记录与分析：记录环境数据并进行分析，以发现潜在问题并进行调整。

合规性检查：

• 标准遵循：确保洁净室始终符合相关的国家和国际标准，如ISO 14644-1