洁净车间的级别由以下几个关键因素定义:
不同级别的洁净车间对空气中颗粒物的浓度有具体的限制。颗粒物的大小通常以微米(µm)为单位进行衡量。以下是一些常见洁净级别的颗粒物浓度限制:
ISO 1级:
ISO 2级:
ISO 3级:
ISO 4级:
ISO 5级:
ISO 6级:
ISO 7级:
ISO 8级:
虽然ISO标准主要关注颗粒物浓度,但洁净车间的设计也需考虑温湿度控制,以防止对产品和工艺产生负面影响。不同级别的洁净车间在温湿度控制方面的要求可能会有所不同,尤其在高洁净度等级中,温湿度的控制更加严格。
洁净车间的空气流动模式(如层流或湍流)和过滤系统(如HEPA或ULPA过滤器)也与洁净级别密切相关。更高等级的洁净车间通常采用更先进的空气过滤技术和更精细的空气流动设计,以确保更低的颗粒物浓度。
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